Specific Process Knowledge/Etch/ICP Metal Etcher: Difference between revisions

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 | Etch rates (nm/min)||||||||||||||||||||||||||
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-! Averages||311||104||92||105||116||169||108||79||101||66||91||98||59
+! Averages
+||311||104||92||105||116||169||108||79||101||66||91||98||59
 |-
-! Std. Dev||44||15||15||21||22||9||11||31||29||4||28||18||12
+! Std. Dev
+||44||15||15||21||22||9||11||31||29||4||28||18||12
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-! Sidewall angle (degrees)||||||||||||||||||||||||||
+! Sidewall angle (degrees)
+||||||||||||||||||||||||||
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-! Averages||82||82||82||82||82||84||81||83||83||85||80||83||79
+! Averages
+||82||82||82||82||82||84||81||83||83||85||80||83||79
 |-
-! Std. Dev||2||2||1||1||1||1||1||2||2||1||3||2||2
+! Std. Dev
+||2||2||1||1||1||1||1||2||2||1||3||2||2
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-! CD loss (nm pr edge)||||||||||||||||||||||||||
+! CD loss (nm pr edge)
+||||||||||||||||||||||||||
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 ! Averages||65||-11||-15||-2||-11||67||63||-29||-5||-29||10||-14||-17