Specific Process Knowledge/Characterization: Difference between revisions
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| Deposition uniformity||||||||||x||x||x|||||||||||||||||||||| | | Deposition uniformity||||||||||x||x||x|||||||||||||||||||||| | ||
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| Dimensions(in plane)||x||x||(x)||(x)||x|||||||||||||||||||||||||| | |||
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|Dimensions(height)||(x)||(x)||x||x||x|||||||||||||||||||||||||| | |||
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| Thin film thickness||x 1)||x 1)||x 2)||x 2)||x ||x||x||||||x 5)||x 3)||||x|||||||||| | | Thin film thickness||x 1)||x 1)||x 2)||x 2)||x ||x||x||||||x 5)||x 3)||||x|||||||||| | ||
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