Specific Process Knowledge/Thin film deposition/Lesker: Difference between revisions
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| 37||50||7||7||100 | | 37||50||7||7||100 | ||
|- | |- | ||
|} | |||
==List of available targets for the Sputter-System(Lesker) (03 June 2013)== | |||
{| border="2" cellspacing="0" cellpadding="10" | |||
|- | |||
|style="background:LightGrey; color:black"|'''Deposition material''' | |||
|style="background:WhiteSmoke; color:black"|'''target thickness''' | |||
|style="background:WhiteSmoke; color:black"|'''Purity''' | |||
|- | |||
|Ag|| 0,250"|| 99,9% | |||
|- | |||
||Al|| 0,250"|| 99,99% | |||
|- | |||
|Au|| 0,125"|| 99,999% | |||
|- | |||
|Co|| 0,0625"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Cr|| 0,125"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Cu|| 0,250"|| 99,99% | |||
|- | |||
|Fe|| 0,0625"|| 99,9% | |||
|- | |||
|Ge|| 0,250"|| 99,999% | |||
|- | |||
|Mg|| 0.250"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Mo|| 0,250"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Nb|| 0,250"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Ni|| 0,125"|| 99,9% | |||
|- | |||
|Pd|| 0,125"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Pt|| 0,125"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Ru|| 0,125"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Si, Undoped|| 0,250"|| 99,999% | |||
|- | |||
|Ta|| 0,250"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Te|| 0,250"|| 99,999% | |||
|- | |||
|Ti|| 0,250"|| 99,7% | |||
|- | |||
|Al2O3|| 0,125" + Cu backing plate|| 99,99% | |||
|- | |||
|Al2O3|| 0,250"|| 99,99% | |||
|- | |||
|Al/Cu99,5/0,5%|| 0,250"|| 99,99% | |||
|- | |||
|Co/Fe 50/50%|| 0,0625"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Co/Fe 80/20%|| 0,0625"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Co/Fe 90/10%|| 0,0625"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Cr2O3|| 0,125" + Cu backing plate|| 99,8% | |||
|- | |||
|Cu/Ti/25%|| 0,125"|| 99,99% | |||
|- | |||
|Fe/Mn 50/50%|| 0,250"|| 99,95% | |||
|- | |||
|ITO (In2O3/SnO2) 90/10%|| 0,125"|| 99,99% | |||
|- | |||
|Mn/Ir80/20%|| 0,125"|| 99,9% | |||
|- | |||
|MgO|| 0,125"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Ni/Co50/50%|| 0,0625"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Ni/Co 50/50%|| 0,125"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Ni/Fe 80/20%|| 0.125"|| 99,95% | |||
|- | |||
|NiV 93/7%|| 0,250"|| 99,95% | |||
|- | |||
|Si3N4/MgO 2%|| 0,125"|| 99,9% | |||
|- | |||
|SiO2|| 0,125"|| 99,995% | |||
|- | |||
|SiO2|| 0,250"|| 99,995% | |||
|- | |||
|Ta2O5|| 0,125"|| 99,900% | |||
|- | |||
|AZO (ZnO/Al2O3)|| 98%/2% 0,125"|| 99,99% | |||
|- | |||
|ZnO|| 0.250"|| 99,999% | |||
|- | |||
|ZrO(2)/Y(2)O(3)|| || 99,900% | |||
|} | |} | ||