Specific Process Knowledge/Etch/ICP Metal Etcher: Difference between revisions

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 | Etch rates (nm/min)||||||||||||||||||||||||||
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-! Averages
+| Averages||311||104||92||105||116||169||108||79||101||66||91||98||59
-||311||104||92||105||116||169||108||79||101||66||91||98||59
 |-
-! Std. Dev
+| Std. Dev||44||15||15||21||22||9||11||31||29||4||28||18||12
-||44||15||15||21||22||9||11||31||29||4||28||18||12
 |-
-! Sidewall angle (degrees)
+| Sidewall angle (degrees)||||||||||||||||||||||||||
-||||||||||||||||||||||||||
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-! Averages
+| Averages||82||82||82||82||82||84||81||83||83||85||80||83||79
-||82||82||82||82||82||84||81||83||83||85||80||83||79
 |-
-! Std. Dev
+| Std. Dev||2||2||1||1||1||1||1||2||2||1||3||2||2
-||2||2||1||1||1||1||1||2||2||1||3||2||2
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-! CD loss (nm pr edge)
+| CD loss (nm pr edge)||||||||||||||||||||||||||
-||||||||||||||||||||||||||
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-! Averages||65||-11||-15||-2||-11||67||63||-29||-5||-29||10||-14||-17
+| Averages||65||-11||-15||-2||-11||67||63||-29||-5||-29||10||-14||-17
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-! Std. Dev||30||5||2||4||3||29||27||6||5||8||7||8||10
+| Std. Dev||30||5||2||4||3||29||27||6||5||8||7||8||10
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 | Bowing (nm)||||||||||||||||||||||||||
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 | Std. Dev||22||19||19||11||7||17||15||15||12||15||13||17||18
 |-
 |}