Specific Process Knowledge/Characterization: Difference between revisions
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|align="left"| Charge carrier life time||||||||||||||||||||||||||||x||||||||||| | |align="left"| Charge carrier life time||||||||||||||||||||||||||||x|||||||||||| | ||
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|align="left"| Contact angle hydrophobic/hydrophillic||||||||||||||||||||||||||||||x||||||||| | |align="left"| Contact angle hydrophobic/hydrophillic||||||||||||||||||||||||||||||x|||||||||| | ||
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|align="left"| Crystallinity||||||||||||||||||||||||||x|||||||||||| | |align="left"| Crystallinity||||||||||||||||||||||||||x||||||||||||| | ||
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|-style="background:#C0C0C0;" align="center" | |-style="background:#C0C0C0;" align="center" | ||
|align="left"| Deposition uniformity||||||||||x||x||x||||||||||||||||||||||||| | |align="left"| Deposition uniformity||||||||||x||x||x|||||||||||||||||||||||||| | ||
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|align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Sample_imaging|Dimensions(in plane)]]||x||x||(x)||(x)||x||||||||||||||||||||||||||||x | |align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Sample_imaging|Dimensions(in plane)]]||x||x||(x)||(x)||x|||||||||||||||||||||||||||||x| | ||
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|align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Topographic_measurement|Dimensions(height)/Topography]]||(x)||(x)||x||x||x||||||||||||||||||||||||||||| | |align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Topographic_measurement|Dimensions(height)/Topography]]||(x)||(x)||x||x||x|||||||||||||||||||||||||||||| | ||
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|align="left"| Electrical conductivity||||||||||||||||||||||||x||||||||||||||| | |align="left"| Electrical conductivity||||||||||||||||||||||||x|||||||||||||||| | ||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Element_analysis|Element analysis]]||||x||||||||||||||x||x 4)||||||x 4)||||||||||||| | |align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Element_analysis|Element analysis]]||||x||||||||||||||x||x 4)||||||x 4)|||||||||||||| | ||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Stress_measurement|Film stress]]||||||||x||||||||||||||||||x 7)||||||||||||| | |align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Stress_measurement|Film stress]]||||||||x||||||||||||||||||x 7)|||||||||||||| | ||
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|-style="background:#C0C0C0;" align="center" | |-style="background:#C0C0C0;" align="center" | ||
|align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Sample_imaging|Imaging]]||x||x||x||||x||||||||||||||||||||||||||||x | |align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Sample_imaging|Imaging]]||x||x||x||||x|||||||||||||||||||||||||||||x| | ||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Hardness_measurement|Material Hardness]]||||||||||||||||||||||||||||||||x||||||| | |align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Hardness_measurement|Material Hardness]]||||||||||||||||||||||||||||||||x|||||||| | ||
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|-style="background:#C0C0C0;" align="center" | |-style="background:#C0C0C0;" align="center" | ||
|align="left"| Band gap||||||||||||||x||||x||x||||||||||||||||||| | |align="left"| Band gap||||||||||||||x||||x||x|||||||||||||||||||| | ||
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|align="left"| Particles||x||x||x||||||||||||||||||||||||||||x||||x | |align="left"| Particles||x||x||x||||||||||||||||||||||||||||x|||||x| | ||
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|align="left"| Phase changes||||||||||||||||||||||||||||||||||||||| | |align="left"| Phase changes|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||| | ||
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|align="left"| Reflectivity||||||||||||x||x||||||x 6)||||||||||||||||||x | |align="left"| Reflectivity||||||||||||x||x||||||x 6)|||||||||||||||||||x| | ||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Measurement_of_film_thickness_and_optical_constants|Refractive index]]||||||||||||x||x||||||||||||||||||||||||| | |align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Measurement_of_film_thickness_and_optical_constants|Refractive index]]||||||||||||x||x|||||||||||||||||||||||||| | ||
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|-style="background:#DCDCDC;" align="center" | |-style="background:#DCDCDC;" align="center" | ||
|align="left"| Resistivity||||||||||||||||||||||x||||||||||||||||| | |align="left"| Resistivity||||||||||||||||||||||x|||||||||||||||||| | ||
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|-style="background:#C0C0C0;" align="center" | |-style="background:#C0C0C0;" align="center" | ||
|align="left"| Step coverage||x 1)||x 1)||||||||||||||||||||||||||||||||||| | |align="left"| Step coverage||x 1)||x 1)|||||||||||||||||||||||||||||||||||| | ||
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|-style="background:#DCDCDC;" align="center" | |-style="background:#DCDCDC;" align="center" | ||
|align="left"| Surface roughness||||||x||x||x||||||||||||||||x||||||||||||| | |align="left"| Surface roughness||||||x||x||x||||||||||||||||x|||||||||||||| | ||
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|-style="background:#C0C0C0;" align="center" | |-style="background:#C0C0C0;" align="center" | ||
|align="left"| Thermal conductivity||||||||||||||||||||||||||||||||||||||| | |align="left"| Thermal conductivity|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||| | ||
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|-style="background:#DCDCDC;" align="center" | |-style="background:#DCDCDC;" align="center" | ||
|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Measurement_of_film_thickness_and_optical_constants|Thin film thickness]]||x 1)||x 1)||x 2)||x 2)||x ||x||x||||||x 5)||x 3)||||x||||||||||||| | |align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Measurement_of_film_thickness_and_optical_constants|Thin film thickness]]||x 1)||x 1)||x 2)||x 2)||x ||x||x||||||x 5)||x 3)||||x|||||||||||||| | ||
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|-style="background:#C0C0C0;" align="center" | |-style="background:#C0C0C0;" align="center" | ||
|align="left"| Voids in wafer bonding||x||||||||||||||||||x||||||||||||||||x||| | |align="left"| Voids in wafer bonding||x||||||||||||||||||x||||||||||||||||x|||| | ||
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|-style="background:#DCDCDC;" align="center" | |-style="background:#DCDCDC;" align="center" | ||
|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Thickness_Measurer|Wafer thickness]]||x 1)||x 1)||||||||||||x||||||||||||||||||||||| | |align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Thickness_Measurer|Wafer thickness]]||x 1)||x 1)||||||||||||x|||||||||||||||||||||||| | ||
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|-style="background:#C0C0C0;" align="center" | |-style="background:#C0C0C0;" align="center" | ||
|align="left"| Work function||||||||||||||||||x||||||||||||||||||||| | |align="left"| Work function||||||||||||||||||x|||||||||||||||||||||| | ||
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