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Specific Process Knowledge/Characterization: Difference between revisions

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|align="left"| Charge carrier life time||||||||||||||||||||||||||||x|||||||||||
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|align="left"| Contact angle hydrophobic/hydrophillic||||||||||||||||||||||||||||||x|||||||||
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|align="left"| Crystallinity||||||||||||||||||||||||||x||||||||||||
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|align="left"| Deposition uniformity||||||||||x||x||x|||||||||||||||||||||||||
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|align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Sample_imaging|Dimensions(in plane)]]||x||x||(x)||(x)||x||||||||||||||||||||||||||||x
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|align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Topographic_measurement|Dimensions(height)/Topography]]||(x)||(x)||x||x||x|||||||||||||||||||||||||||||
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|align="left"| Electrical conductivity||||||||||||||||||||||||x|||||||||||||||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Element_analysis|Element analysis]]||||x||||||||||||||x||x  4)||||||x  4)|||||||||||||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Stress_measurement|Film stress]]||||||||x||||||||||||||||||x  7)|||||||||||||
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|align="left"|[[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Sample_imaging|Imaging]]||x||x||x||||x||||||||||||||||||||||||||||x
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Hardness_measurement|Material Hardness]]||||||||||||||||||||||||||||||||x|||||||
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|align="left"| Band gap||||||||||||||x||||x||x|||||||||||||||||||
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|align="left"| Particles||x||x||x||||||||||||||||||||||||||||x||||x
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|align="left"| Phase changes|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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|align="left"| Reflectivity||||||||||||x||x||||||x 6)||||||||||||||||||x
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Measurement_of_film_thickness_and_optical_constants|Refractive index]]||||||||||||x||x|||||||||||||||||||||||||
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|align="left"| Resistivity||||||||||||||||||||||x|||||||||||||||||
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|align="left"| Step coverage||x  1)||x  1)|||||||||||||||||||||||||||||||||||
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|align="left"| Surface roughness||||||x||x||x||||||||||||||||x|||||||||||||
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|align="left"| Thermal conductivity|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Measurement_of_film_thickness_and_optical_constants|Thin film thickness]]||x  1)||x  1)||x  2)||x  2)||x  ||x||x||||||x 5)||x  3)||||x|||||||||||||
|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Measurement_of_film_thickness_and_optical_constants|Thin film thickness]]||x  1)||x  1)||x  2)||x  2)||x  ||x||x||||||x 5)||x  3)||||x||||||||||||||
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|align="left"| Voids in wafer bonding||x||||||||||||||||||x||||||||||||||||x|||
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|align="left"| [[Specific_Process_Knowledge/Characterization/Thickness_Measurer|Wafer thickness]]||x  1)||x  1)||||||||||||x|||||||||||||||||||||||
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|align="left"| Work function||||||||||||||||||x|||||||||||||||||||||
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