Specific Process Knowledge/Characterization: Difference between revisions
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{| {{table}} | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Microscopes''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''SEM (incl. EDX)''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''AFM''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Stylus profiler''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Optical profiler''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Filmtek (reflectometer)''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Ellipsometer''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Thickness stylus''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''XPS''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''PL mapper''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''4-point probe''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Probe station''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''XRD''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Life time scanner''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Drop shape analyser''' | |||
| align="center" style="background:#f0f0f0;"|'''Hardness tester''' | |||
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| Thin film thickness||x 1)||x 1)||x 2)||x 2)||x ||x||x||||||||x 3)||||x|||||| | |||
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| Defects||x||||||||||||||||||x|||||||||||| | |||
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| Wafer thickness||x 1)||x 1)||||||||||||x|||||||||||||||| | |||
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| Step coverage||x 1)||x 1)|||||||||||||||||||||||||||| | |||
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| Particles||x||x||x|||||||||||||||||||||||||| | |||
|- | |||
| Element analysis||||x||||||||||||||x||x 4)||||||x 4)|||||| | |||
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| Surface roughness||||||x||x||x|||||||||||||||||||||| | |||
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| Deposition uniformity||||||||||x||x||x|||||||||||||||||| | |||
|- | |||
| Film stress||||||||x||||||||||||||||||x|||||| | |||
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| Refractive index||||||||||||x||x|||||||||||||||||| | |||
|- | |||
| Reflectivity||||||||||||x||x||||||(x)|||||||||||| | |||
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| Resistivity||||||||||||||||||||||x|||||||||| | |||
|- | |||
| Breakdown voltage|||||||||||||||||||||||||||||||| | |||
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| electrical conductivity||||||||||||||||||||||||x|||||||| | |||
|- | |||
| Thermal conductivity|||||||||||||||||||||||||||||||| | |||
|- | |||
| Optical gap||||||||||||||x||||||x|||||||||||| | |||
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| Crystalinity||||||||||||||||||||||||||x|||||| | |||
|- | |||
| Charge carrier life time||||||||||||||||||||||||||||x|||| | |||
|- | |||
| Contact angle hydrofob/hydrofil||||||||||||||||||||||||||||||x|| | |||
|- | |||
| Hardness measure||||||||||||||||||||||||||||||||x | |||
|- | |||
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|} | |||
== Choose characterization topic == | == Choose characterization topic == | ||