Specific Process Knowledge/Lithography/EBeamLithography/JBX9500Manual: Difference between revisions

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 The most important output of PDEFBE is the gain shift value which is 1.4 nm (in Y); the maximum allowable gain correction in this condition file (0.2nA ap5) is 6 nm. If PDEFBE did not reach a shift value below 6 nm within 3 retries, the allowable gain correction should be increased.
-=== DISTBE ===
+=== DISTMEM and DISTBE ===
+{| width=100% style = "border-radius: 10px; border: 1px solid #CE002D;"
+! width=100% | ========= DISTBE Final result (2nA ap5) ==================
+|-
+|
+[Measurement information]
+	Linear scaling value      = 1.000000
+	Start time                = Wed May  6 12:02:27 2015
+	End time                  = Wed May  6 12:08:50 2015
+	Measurement result file   = 20150506120227.distbe.bat.ic
+	Deflector                 = PDEF
+[Height measurement]
+	Reference height              [um] =       0.000
+[Main deflector result]
+DISTBE measurement condition information
+	Register clear mode                = Off
+	Field size                    [um] =    980.0000
+	Zigzag                             = X -> Y
+	Measurement starting point         = Top left
+	Number of to-and-fro measurements  =           1
+	Number of measurement points in the 1st quadrant =           4
+	Measurement pitch [ 1/ 3]     [um] =    163.3000
+	Measurement pitch [ 2/ 3]     [um] =    163.3000
+	Measurement pitch [ 3/ 3]     [um] =    163.4000
+	Stage fixing flag                  = Stage shift
+	Number of retries                  =           1
+Amount of field center shift                     X, Y [nm] =        -2.2          0.7
+Scanning position                                X, Y [nm] =    -17200.0     -17200.0
+distortion result [nm]
+     X      |  -490.0000 |  -326.7000 |  -163.4000 |     0.0000 |   163.4000 |   326.7000 |   490.0000 |
+------------+-------------------------------------------------------------------------------------------
+.0000 |        3.3         -2.1         -1.7         -1.4         -2.9         -2.9          2.7
+.7000 |       -4.0         -1.3         -1.3         -1.2         -1.1         -2.2         -1.8
+.4000 |       -3.0         -1.1         -0.6         -0.2         -0.6         -1.2         -1.7
+.0000 |       -1.6         -0.3          0.1          0.0         -0.3         -0.4         -1.9
+  -163.4000 |       -1.0         -0.7          0.0         -0.5          0.0         -0.5         -1.1
+  -326.7000 |       -3.2         -1.6         -0.9         -0.7         -0.8         -1.6         -2.9
+  -490.0000 |        3.3          3.1         -2.9         -3.0         -3.1          1.4          1.4
+     Y      |  -490.0000 |  -326.7000 |  -163.4000 |     0.0000 |   163.4000 |   326.7000 |   490.0000 |
+------------+-------------------------------------------------------------------------------------------
+.0000 |        1.3         -5.5         -1.9         -2.9         -3.8          3.9          2.9
+.7000 |       -2.0         -1.2          1.7         -1.0         -3.1          2.6         -2.6
+.4000 |       -1.7         -1.2          0.1         -2.7         -4.4          2.4         -2.4
+.0000 |       -2.4         -0.4          3.2          0.0         -2.9          3.9         -1.9
+  -163.4000 |       -2.1          0.4          3.1         -0.7         -4.8          0.3         -5.0
+  -326.7000 |       -0.9          0.1          1.8         -0.9         -3.0          3.7         -3.6
+  -490.0000 |        2.6          2.4          1.5         -2.0         -5.2          1.9          1.2
+|-
+|}
 === SUBDEFBE ===